等离子清洗机是一种常见的表面清洗设备，通过利用等离子体的化学反应和物理作用来清除表面污染物。其原理如下：

　　产生等离子体：等离子清洗机通过加入高频电场激发气体，产生包含电子、激发态离子以及原子团自由基等多种活性粒子的等离子体射流。等离子体是由带正电荷和带负电荷的电离粒子、自由基和电子组成的高度活跃的气体。

　　等离子体与污染物接触：等离子体通过反应和碰撞，与表面附着的污染物发生物理和化学作用。例如，等离子体中的自由基可以氧化污染物，将其分解成无害的气体。

　　清除污染物：等离子清洗机通过控制等离子体的能量和浓度，将污染物彻底清除。等离子清洗机通常会设置不同的清洗程序和参数，以适应不同材料和污染物的清洗需求。

　　等离子清洗机的优点包括清洗效果好、清洗速度快、对材料的损伤小等。它广泛应用于半导体、光电、航空航天等行业的制造和清洗工艺中。